络(GAN)结合的方式,不再是机械地遵循规则,而是‘理解’光刻机的成像物理过程,直接生成最优的校正图形。”
陈默展示了一组震撼的数据:
“在Balong  5000的某个关键层,采用‘女娲’系统,将OPC计算时间从传统的14天缩短到18小时,同时校正精度提升40%,有效预测并规避了3处潜在的光刻热点。
这意味着,我们不仅能更快地拿到可生产的掩膜版,更能从源头提升流片良率。”
孟良凡激动地直接站了起来:
“18小时?!陈总,你确定这是基于我们N+1工艺复杂规则的结果?
这......这简直是奇迹!”
作为工艺专家,他太清楚这背后意味着什么了。
陈默淡然一笑:
“孟教授,奇迹源于积累。
‘女娲’系统的训练,离不开张哲博士3D  EM引擎提供的精确电磁场数据,以及李维明博士团队提供的器件物理边界条件。
是他们夯实了基础,钟耀祖的AI才能挥洒自如。
系统的训练也是近期才完成的。”


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